[发明专利]MEMS气体检测系统及方法在审
| 申请号: | 201911025970.6 | 申请日: | 2019-10-25 |
| 公开(公告)号: | CN110749629A | 公开(公告)日: | 2020-02-04 |
| 发明(设计)人: | 徐迎庆;路奇;杨佳伟;贾艳红 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
| 主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司: | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人: | 苗晓静 |
| 地址: | 100084 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 气体传感器 控制模块 多路复用 传感器阵列 集成电路板 调温模块 气体信息 采集 气体检测系统 传感器电阻 传感材料 数据接口 信息通路 有效减少 导电率 体积小 位机 加热 发送 占用 分析 | ||
1.一种MEMS气体检测系统,其特征在于,包括:
传感器阵列集成电路板、控制模块和调温模块;
所述传感器阵列集成电路板包括多个MEMS气体传感器和至少一个多路复用模块;
所述调温模块用于对所述MEMS气体传感器进行加热;
所述多个MEMS气体传感器采集气体信息后,通过所述多路复用模块,发送给所述控制模块;
所述控制模块用于控制所述多路复用模块,获取所述MEMS气体传感器采集的气体信息,并发送至上位机进行分析。
2.根据权利要求1所述的MEMS气体检测系统,其特征在于,还包括温湿度传感器,用于采集所述MEMS气体传感器工作环境中的温湿度信息,并通过所述控制模块,发送至上位机进行分析。
3.根据权利要求1所述的MEMS气体检测系统,其特征在于,所述多个MEMS气体传感器与所述多路复用模块之间还包括运算放大器,所述运算放大器用于放大所述MEMS气体传感器的输出信号。
4.根据权利要求1所述的MEMS气体检测系统,其特征在于,所述多个MEMS气体传感器与所述多路复用模块之间还包扩低通滤波器,所述低通滤波器用于对所述MEMS气体传感器的输出信号进行低通滤波。
5.根据权利要求1所述的MEMS气体检测系统,其特征在于,所述控制模块还用于接收并响应所述上位机的控制指令;
所述控制指令包括MEMS气体传感器的采样率调整以及MEMS气体传感器校准。
6.根据权利要求1所述的MEMS气体检测系统,其特征在于,所述传感器阵列集成电路板有多个,均与所述控制模块信号连接,所述控制模块向每一传感器阵列集成电路板发送控制信号,所述控制信号包括单个传感器阵列集成电路板的使能和数据读写。
7.一种基于权利要求1-6任一项所述MEMS气体检测系统的MEMS气体检测方法,其特征在于,包括:
接收控制模块发送的MEMS气体传感器采集的气体数据信号;
将所述气体数据信号输入至预设的神经网络模型,根据所述神经网络模型的输出结果,获取所述气体的类型和/或浓度;
其中,所述神经网络模型,根据将已知类型和/或浓度作为标签的气体样本训练后得到。
8.根据权利要求7所述的MEMS气体检测方法,接收控制模块发送的MEMS气体传感器采集的气体数据信号之前,还包括:
获取多个已知类型和/或浓度的气体数据信号样本;
利用多个气体数据信号样本对所述神经网络模型进行训练,得到训练完成的神经网络模型。
9.一种电子设备,包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序,其特征在于,所述处理器执行所述程序时实现如权利要求7至8任一项所述MEMS气体检测方法的步骤。
10.一种非暂态计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,该计算机程序被处理器执行时实现如权利要求7至8任一项所述MEMS气体检测方法的步骤。
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