[发明专利]一种铝电解电容器用阳极铝箔的节能制备方法有效
申请号: | 201911024947.5 | 申请日: | 2019-10-25 |
公开(公告)号: | CN110819965B | 公开(公告)日: | 2021-01-19 |
发明(设计)人: | 杜显锋;李响;李卓;熊礼龙 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | C23C16/40 | 分类号: | C23C16/40;C23C16/513;C25D11/10;C25D11/18;C25D11/16;C23C16/455;C23C28/04 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 范巍 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: |
本发明公开了一种铝电解电容器用阳极铝箔的节能制备方法,属于铝电解电容器领域。包括:利用气相沉积法,辅以等离子体增强,将铝金属有机化合物作为前驱体,在腐蚀铝箔表面生长氧化铝电介质,然后对其进行高温热处理,再经阳极氧化、退火、补形成,制得铝电解电容器用阳极铝箔。本发明利用等离子体辅助的气相沉积技术能够直接在腐蚀箔表面快速均匀地沉积一层Al |
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搜索关键词: | 一种 铝电解电容器 阳极 铝箔 节能 制备 方法 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的