[发明专利]用于MEMS转换器的至少一个膜单元的制造方法有效
| 申请号： | 201911014663.8 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN111163413B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 安德里亚·韦斯高尼·克莱里西·贝尔特拉米;费鲁乔·博托尼;尼克·雷诺-贝慈特 | 申请（专利权）人： | 悠声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R31/00 | 分类号： | H04R31/00;H04R19/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟;郭婧婧 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于MEMS转换器的至少一个膜单元(1)的制造方法，其中在载体(2)上形成数个各具有至少一个电极层(4、5)和至少一个压电层(6)的压电式转换器单元(3)。根据本发明，从所述转换器单元(3)移除所述载体(2)，并且将所述转换器单元(3)中的至少一者布置在膜(10)上并与所述膜连接，以形成所述至少一个膜单元(1)。此外，本发明还涉及所述膜单元(1)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 转换器 至少 一个 单元 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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