[发明专利]用于MEMS转换器的至少一个膜单元的制造方法

权利要求书

1.一种用于MEMS转换器的至少一个膜单元（1）的制造方法，

其中在载体（2）上形成数个各具有至少一个电极层（4、5）和至少一个压电层（6）的压电式转换器单元（3），

其特征在于，

从所述转换器单元（3）移除所述载体（2），并且将所述转换器单元（3）中的至少一者布置在膜（10）上并与所述膜（10）连接，以形成所述至少一个膜单元（1），

将所述至少一个转换器单元（3）布置在部分固化的膜（10）上，

随后通过加热将所述膜（10）完全固化，使得所述转换器单元（3）以材料接合的方式与所述膜（10）连接。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在移除所述载体（2）之前或之后将所述转换器单元（3）彼此分离地形成在所述载体（2）上。

3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述转换器单元（3）以某种方式彼此分离地形成且/或被彼此分离，从而形成至少一个单体化的转换器单元（3）。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述转换器单元（3）以某种方式彼此分离地形成且/或被彼此分离，从而形成至少一个单体化的转换器单元（3）形成至少一个由至少两个转换器单元（3）构成的联合组（9）。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的制造方法，其特征在于，在所述载体（2）上形成承载层（7），将所述转换器单元（3）的所述至少一个电极层（4、5）和所述至少一个压电层（6）形成在所述承载层（7）上。

6.根据权利要求5所述的制造方法，其特征在于，将所述至少一个电极层（4、5）、所述至少一个压电层（6）和所述承载层（7）上下叠置地形成在所述载体（2）上。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的制造方法，其特征在于，在所述载体（2）上形成第一电极层（4）和第二电极层（5），

且将所述压电层（6）形成在所述第一电极层（4）和所述第二电极层（5）之间。

8.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于，先形成所述第一电极层（4），再形成所述压电层（6），而后形成所述第二电极层（5）。

9.根据权利要求8所述的制造方法，其特征在于，在形成所述第一电极层（4）之前，先形成承载层（7）。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的制造方法，其特征在于，在所述载体（2）上整面地形成承载层（7）、所述至少一个电极层（4、5）和/或所述压电层（6），且/或，在所述转换器单元（3）之间将所述承载层（7）、所述至少一个电极层（4、5）和/或所述压电层（6）至少部分地移除，从而将所述转换器单元（3）至少部分地彼此分离。

11.根据权利要求5所述的制造方法，其特征在于，分离所述转换器单元（3）时，至少在几个转换器单元（3）之间仅移除所述压电层（6）和至少一个电极层（4、5），使得在所述转换器单元（3）之间至少所述承载层（7）保持完好，以便所述转换器单元（3）形成联合组（9）。

12.根据权利要求1-4中任一项所述的制造方法，其特征在于，在所述载体（2）上选择性地形成所述至少一个电极层（4、5）、所述至少一个压电层（6）和/或承载层（7），以便形成至少部分地彼此分离的转换器单元（3）。

13.根据权利要求12所述的制造方法，其特征在于，通过蚀刻和/或切割来移除所述至少一个电极层（4、5）、所述压电层（6）和/或所述承载层（7）。

14.根据权利要求5所述的制造方法，其特征在于，通过磨除且/或溶解所述载体（2）断开所述载体（2）与所述承载层（7）之间的连接，以便从所述转换器单元（3）移除所述载体（2）。