[发明专利]一种芯片框架的点胶上芯机在审
申请号: | 201911001035.6 | 申请日: | 2019-10-21 |
公开(公告)号: | CN110600410A | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 赖小军;肖涛;梁胜;陆梓钊;黄伟杰 | 申请(专利权)人: | 广东协铖微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 44556 佛山市原创智慧知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 古珍芳 |
地址: | 526000 广东省肇庆市端州区端州一*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及半导体加工设备领域,尤其是一种芯片框架的点胶上芯机,包括控制器、点胶装置、上芯装置、送料装置、上料仓以及上料装置,送料装置包括送料导轨、第一移料夹手以及第二移料夹手,第一移料夹手用于将芯片框架从送料导轨的上料端移动至点胶装置与上芯装置交界处,第二移料夹手用于将芯片框架从点胶装置与上芯装置交界处移动至送料导轨下料端。第一移料夹手与第二移料夹手相互配合,在第一移料夹手配合点胶装置推进芯片框架并对芯片框架进行点胶的同时,第二移料夹手可配合上芯装置推进芯片框架并对芯片框架进行上芯,能够减少点胶装置与上芯装置处于待料停机状态的时间,提高点胶上芯机的工作效率。 | ||
搜索关键词: | 料夹 芯片框架 上芯 点胶装置 送料导轨 点胶 送料装置 交界处 上芯机 半导体加工设备 工作效率 上料装置 停机状态 控制器 配合点 上料仓 上料端 下料端 移动 配合 | ||
【主权项】:
1.一种芯片框架的点胶上芯机,其特征在于:包括控制器、用于对承载部点胶的点胶装置、用于把半导体芯片安装到承载部上的上芯装置、用于带动芯片框架依次经过点胶装置与上芯装置的送料装置、用于供芯片框架整齐叠放的上料仓以及用于把上料仓内的芯片框架逐一移送到送料装置上的上料装置;/n所述送料装置包括依次经过点胶装置与上芯装置的送料导轨以及可沿送料导轨的送料方向来回移动的第一移料夹手与第二移料夹手,所述第一移料夹手用于将芯片框架从送料导轨的上料端移动至点胶装置与上芯装置交界处,所述第二移料夹手用于将芯片框架从点胶装置与上芯装置交界处移动至送料导轨下料端,所述点胶装置、上芯装置、上料装置第一移料夹手以及第二移料夹手均与控制器电性连接。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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