[发明专利]体声波部件及等离子体切割该体声波部件的方法在审
| 申请号： | 201910988382.6 | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN111082769A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 高野敦;古泽健;古泽光弘 | 申请（专利权）人： | 天工方案公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京市正见永申律师事务所 11497 | 代理人： | 黄小临 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的多个方面涉及制造体声波部件的方法。这样的方法包括等离子体切割以将单个体声波部件单片化。可在体声波部件的基板上方形成缓冲层，使得街区被外露。可沿着外露街区对体声波部件进行等离子体切割，从而将体声波部件单片化。公开了相关的体声波部件。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 部件 等离子体 切割 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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