[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法与显示装置有效
| 申请号： | 201910981955.2 | 申请日： | 2019-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN110828578B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 罗传宝 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/06;H01L21/336;H01L27/12 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 李汉亮 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管，包括：基板；栅极；栅极绝缘层；有源层；阻隔层；源漏电极；钝化层；以及，像素电极，所述阻隔层位于所述有源层之上，所述源漏电极之下，所述阻隔层为含有极性官能团的硅氧烷，所述极性官能团为巯基、胺基以及卤代烷基中的至少一者。通过设置本发明所述的阻隔层，可有效避免Cu离子在后续高温制程扩散至有源层内形成缺陷，恶化器件的电学性能，并且，该方法操作简便，成本低廉，制程时间短。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制备 方法 显示装置 | ||
【主权项】：
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