[发明专利]一种硫化锌薄膜的制备方法及具有硫化锌薄膜的薄膜晶体管在审
| 申请号： | 201910980974.3 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN110819950A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 张猛;闫岩;郭海成 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;H01L21/02;H01L29/786 |
| 代理公司： | 深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙) 44357 | 代理人： | 黄立强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
一种硫化锌薄膜的制备方法及具有硫化锌薄膜的薄膜晶体管，其中硫化锌薄膜的制备方法包括：将溅射目标物放置于溅射腔体内的托盘中，将硫化锌的作为溅射靶材放置于溅射腔体内的RF电源上，该溅射腔体的两根气源管路分别连接Ar气源和H |
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| 搜索关键词： | 一种 硫化锌 薄膜 制备 方法 具有 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
暂无信息
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