[发明专利]一种TEM试片检测的金属防扩散方法在审
| 申请号： | 201910969416.7 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110726744A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 胡荣志;储耕颉;陈明志 | 申请（专利权）人： | 闳康技术检测(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2005 | 分类号： | G01N23/2005;G01N23/20;G01N23/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国(上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及试片检测技术领域，公开了一种TEM试片检测的金属防扩散方法，包括如下步骤：S1，采用聚焦式粒子束切削薄化制作TEM试片；S2，制备清洗溶液，清洗溶液包括蒸馏水和硫醇；S3，将TEM试片放入清洗溶液中浸泡后取出；S4，将TEM试片放入电浆清洗机中清洗后取出，硫醇的疏基官能团‑SH中的H可以由纳米级的Cu或Ag及其氧化物替换，在由电浆清洗机去除硫醇的同时，连同Cu或Ag及其氧化物一起去除脱离TEM试片表面，完成处理，减少后续TEM造影过程中因出现的因Cu或Ag扩散引起的造影浑浊。 | ||
| 搜索关键词： | 试片 硫醇 电浆清洗机 清洗溶液 造影 氧化物 放入 去除 粒子束 蒸馏水 取出 检测技术领域 制备清洗溶液 试片表面 防扩散 聚焦式 纳米级 切削 薄化 浑浊 疏基 浸泡 清洗 替换 金属 扩散 检测 脱离 制作 | ||
【主权项】：
1.一种TEM试片检测的金属防扩散方法，其特征在于，包括如下步骤：/nS1，采用聚焦式粒子束切削薄化制作TEM试片；/nS2，制备清洗溶液，所述清洗溶液包括蒸馏水和硫醇；/nS3，将所述TEM试片放入所述清洗溶液中浸泡后取出；/nS4，将所述TEM试片放入电浆清洗机中清洗后取出。/n
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