[发明专利]芯片缺陷检测方法及系统有效
| 申请号： | 201910949089.9 | 申请日： | 2019-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN110672620B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 柏钧蓝 | 申请（专利权）人： | 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 林锦辉;刘景峰 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本公开涉及芯片缺陷检测方法及图像处理系统，该方法包括：获取所述待检测芯片的快照,对快照执行多重滤波以消除附着在快照上的环境干扰图像,基于每一层滤波后的图像确定快照中包含的芯片图像的角点；当角点数等于4时，以角点为轮廓基准，从快照中生成芯片真实图像,以及对芯片真实图像执行自适应二值化处理以标识芯片缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 缺陷 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于芯片缺陷的检测方法，包括：/n获取待检测芯片的快照，该快照包含所述芯片的图像以及在生成所述快照时同时拍摄的环境干扰图像；/n通过对所述快照执行多重滤波以消除与所述芯片的图像一同成像的所述环境干扰图像，并记录每一重滤波后的图像；/n基于滤波后的图像确定所述快照中包含的所述芯片图像的角点；/n当所确定的角点数等于4时，以所述角点为轮廓基准，从所述快照中生成芯片真实图像；/n对所述芯片真实图像执行自适应二值化处理以标识芯片缺陷。/n
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