[发明专利]一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的方法，用13Cr超级马氏体不锈钢作为基体进行镀膜；在真空腔体内设金属网笼，带有防爆口的空心玻璃砖放设在真空腔体内，在绝缘玻璃砖上放置金属网笼，所述的金属网笼前后左右四面开口，使电子逃逸形成回路；将基体打磨后超声清洗，再放置于真空腔体的金属网笼内部进行高压清洗，基体的待镀膜面向上；在镀膜前制备Si/Si‑C过渡层，提高膜基结合力；使用等离子体增强化学气相沉积技术制备DLC薄膜。优点是：基体的高模量解决了DLC薄膜制备过程中应力过大的问题。在超级马氏体不锈钢表面制备的DLC薄膜，结构致密、明显提高了基体硬度以及减摩耐蚀等性能。

主权项

1.一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：/n1)选用13Cr超级马氏体不锈钢作为基体进行镀膜，13Cr超级马氏体不锈钢的化学成分按重量百分比计：/nC：0.01％～0.03％、Si：0.15％～0.5％、Mn：0.2％～2％、Cr：12％～13％、Mo：0.5％～3.5％、Ni：5.0％～8.0％、S≤0.035％、P≤0.015％、Cu≥0.047％、其余为Fe及不可避免杂质；/n2)在真空腔体内设置金属网笼，带有防爆口的空心玻璃砖放设在真空腔体内，在绝缘玻璃砖上放置金属网笼，所述的金属网笼前后左右四面开口，使电子逃逸形成回路；/n3)将基体打磨后超声清洗，再放置于真空腔体的金属网笼内部进行高压清洗，基体的待镀膜面向上；/n4)在镀膜前制备Si/Si-C过渡层，提高膜基结合力；/n5)使用等离子体增强化学气相沉积技术制备DLC薄膜。/n