[发明专利]一种用于涂胶显影设备的晶圆传送手臂在审
| 申请号： | 201910922545.0 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110718499A | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 唐阳明 | 申请（专利权）人： | 上海图双精密装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 31364 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 朱明福 |
| 地址： | 200000 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于涂胶显影设备的晶圆传送手臂，包括手臂本体，还包括两个与手臂本体滑动连接的调节座，所述调节座内设有真空通道，所述调节座上固定连接有球头座，所述球头座上固定连接有顶部、底部均为平面的球头，所述球头顶部固定连接有限位板，所述限位板上设有通孔，所述通孔向下延伸依次贯穿球头、球头座并与真空通道连通，所述球头外部可转动地套接有吸盘座，所述吸盘座可相对球头在一定范围内摆动，所述吸盘座顶部安装有吸盘，所述吸盘与通孔连通。本发明能够适应不同尺寸的晶圆及发生翘曲的晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 球头 球头座 吸盘座 晶圆 通孔 吸盘 手臂本体 真空通道 连通 涂胶显影设备 顶部安装 滑动连接 球头顶部 向下延伸 可转动 平面的 限位板 摆动 翘曲 套接 手臂 传送 贯穿 外部 | ||
【主权项】：
1.一种用于涂胶显影设备的晶圆传送手臂，包括手臂本体，其特征在于，还包括两个与手臂本体滑动连接的调节座，所述调节座内设有真空通道，所述调节座上固定连接有球头座，所述球头座上固定连接有顶部、底部均为平面的球头，所述球头顶部固定连接有限位板，所述限位板上设有通孔，所述通孔向下延伸依次贯穿球头、球头座并与真空通道连通，所述球头外部可转动地套接有吸盘座，所述吸盘座可相对球头在一定范围内摆动，所述吸盘座顶部安装有吸盘，所述吸盘与通孔连通。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
