[发明专利]一种PERC电池激光开槽的制作方法在审
| 申请号： | 201910908526.2 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110676346A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 童锐;杨均炎;柯希满;张忠卫 | 申请（专利权）人： | 南通苏民新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/068 |
| 代理公司： | 32224 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 226300 江苏省南通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PERC电池激光开槽的制作方法，所述方法包括：制绒、扩散、刻蚀、正面氧化退火、背钝化、正面镀膜、激光开槽、背面氧化退火以及印刷烧结，使用激光开槽设备按照特定图形在硅片背面进行开槽，激光开槽区域设计不限于线段式、直线式和点状，通过二氧化硅膜层的钝化作用，从而对激光开槽处硅片损伤层进行表面钝化，消除激光开槽处由于硅片损伤导致的载流子复合，从而提升最终电池电池片的光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光开槽 硅片损伤 氧化退火 线段 二氧化硅膜层 光电转换效率 载流子复合 表面钝化 电池电池 钝化作用 硅片背面 区域设计 烧结 直线式 点状 镀膜 钝化 开槽 刻蚀 制绒 背面 电池 扩散 印刷 制作 | ||
【主权项】：
1.一种PERC电池激光开槽的制作方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：/n对硅片双面进行制绒形成绒面；/n对硅片正面进行磷扩散形成PN结，随后镀上若干层二氧化硅膜和氮化硅膜；/n对硅片背面进行抛光、去除边缘PN结及磷硅玻璃，先镀若干层氧化铝膜，达到钝化效果后再镀若干层氮化硅膜；/n在硅片背面开槽，将印刷的浆料和硅片进行连接；/n对硅片背面进行氧化退火操作，形成二氧化硅膜层；/n印刷背面电极、背面铝背场及正面栅线和电极，并进行烧结。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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