[发明专利]一种PERC电池激光开槽的制作方法在审
| 申请号： | 201910908526.2 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110676346A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 童锐;杨均炎;柯希满;张忠卫 | 申请（专利权）人： | 南通苏民新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/068 |
| 代理公司： | 32224 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 226300 江苏省南通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光开槽 硅片损伤 氧化退火 线段 二氧化硅膜层 光电转换效率 载流子复合 表面钝化 电池电池 钝化作用 硅片背面 区域设计 烧结 直线式 点状 镀膜 钝化 开槽 刻蚀 制绒 背面 电池 扩散 印刷 制作 | ||
1.一种PERC电池激光开槽的制作方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
对硅片双面进行制绒形成绒面；
对硅片正面进行磷扩散形成PN结，随后镀上若干层二氧化硅膜和氮化硅膜；
对硅片背面进行抛光、去除边缘PN结及磷硅玻璃，先镀若干层氧化铝膜，达到钝化效果后再镀若干层氮化硅膜；
在硅片背面开槽，将印刷的浆料和硅片进行连接；
对硅片背面进行氧化退火操作，形成二氧化硅膜层；
印刷背面电极、背面铝背场及正面栅线和电极，并进行烧结。
2.根据权利要求1所述的一种PERC电池激光开槽的制作方法，其特征在于：对硅片背面进行氧化退火操作，形成二氧化硅膜层的方法包括如下步骤：
将硅片插入石英舟中，送入热氧化机台炉管内，通入氧气和氮气；
氧气流量3000-8000sccm，炉管内温度650-750℃，氧化时间500-1500s；
氮气流量为5-15slm。
3.根据权利要求1所述的一种PERC电池激光开槽的制作方法，其特征在于：印刷背面电极、背面铝背场及正面栅线和电极，并进行烧结的方法包括如下步骤：
用浆料印刷背面电极、背面铝背场及正面栅线和电极；
将印刷好的电池片在300～900℃下进行烧结，使印刷的浆料和硅片形成良好的欧姆接触。
4.根据权利要求1所述的一种PERC电池激光开槽的制作方法，其特征在于：在硅片背面开槽，将印刷的浆料和硅片进行连接的方法包括如下步骤：
按照预设图形用激光在硅片背面开设深度不小于背面氧化铝和氮化硅厚度的槽孔；
将背面印刷的浆料和硅片形成接触。
5.根据权利要求1所述的一种PERC电池激光开槽的制作方法，其特征在于：硅片正面的二氧化硅膜的厚度为2-10nm。
6.根据权利要求1所述的一种PERC电池激光开槽的制作方法，其特征在于：硅片正面的氮化硅膜采用管式PECVD方式进行镀层，厚度为65-90nm。
7.根据权利要求1所述的一种PERC电池激光开槽的制作方法，其特征在于：硅片背面的氧化铝膜采用ALD或PECVD的方式进行沉积，厚度为2-25nm。
8.根据权利要求1所述的一种PERC电池激光开槽的制作方法，其特征在于：硅片背面的氮化硅膜采用PECVD方式进行镀层，厚度为80-140nm，折射率为2.05-2.15。
9.根据权利要求4所述的一种PERC电池激光开槽的制作方法，其特征在于：所述预设图形包括线段式、直线式和点状中的一种或多种。
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H01L31-04 .用作转换器件的
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
