[发明专利]用于保持基板和/或解除对基板的保持的装置及镀敷装置在审
| 申请号： | 201910898902.4 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN111009453A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 对马拓也 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 罗英;臧建明 |
| 地址： | 日本东京大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够适合于两面保持器的基板装卸装置及镀敷装置。本发明公开了一种装置，所述装置用于在基板保持器上保持基板和/或用于解除基板保持器对基板的保持，基板保持器包括第一框架及第二框架，第一框架及第二框架分别具有开口，装置包括用于在第一框架及第二框架之间夹持基板的基板支持单元，基板支持单元包括下部基板支持件与上部基板支持件，下部基板支持件构成为通过位于下方的框架的开口而与基板接触，上部基板支持件构成为通过位于上方的框架的开口而与基板接触。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 保持 解除 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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