[发明专利]抗龟裂ITO导电玻璃的制作方法有效

专利信息
申请号: 201910895453.8 申请日: 2019-09-21
公开(公告)号: CN110642527B 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 陈绪强;詹重庆;聂星保;吴敏艺 申请(专利权)人: 精电(河源)显示技术有限公司
主分类号: C03C17/34 分类号: C03C17/34
代理公司: 广州科沃园专利代理有限公司 44416 代理人: 徐翔
地址: 517000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种抗龟裂ITO导电玻璃的制作方法,包括步骤:S1,提供玻璃基板,使用乙醇和/或丙酮中的至少一种作为溶质,以及去离子水作为溶质的载体,以超声波对玻璃基板进行清洗,辅以N2气体吹干备用;S2,将玻璃基板置于射频磁控溅射镀膜设备的真空溅射腔室中,压强为9.0x10‑4‑3.5x10‑4Pa,然后注入氧气和氩气,其中氩气流量占比大于99%,镀膜时玻璃基板的温度为300‑450℃,溅射气压为0.3‑1Pa,镀膜功率为100‑175W,阻挡层包括NbOx层、SiNx层以及SiO2层,在玻璃基板的一面依次镀上NbOx层、SiNx层以及SiO2层;S3,在所述阻挡层表面镀上氧化铟锡。本发明的有益效果是:有效阻挡玻璃基板中的金属离子迁移到ITO层,防止ITO层发生翘曲形成龟裂,从而提升液晶屏使用寿命。
搜索关键词: 龟裂 ito 导电 玻璃 制作方法
【主权项】:
1.一种抗龟裂ITO导电玻璃的制作方法,其特征在于,包括步骤:/nS1,清洗玻璃基板:提供玻璃基板,使用乙醇和/或丙酮中的至少一种作为溶质,以及去离子水作为所述溶质的载体,以超声波对所述玻璃基板进行清洗,辅以N
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