[发明专利]太阳能电池、臭氧溶液施加装置及太阳能电池的制备方法在审
| 申请号： | 201910894278.0 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN110676153A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 左国军;任金枝;柯国英 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L31/18 |
| 代理公司： | 11343 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 汪海屏;刘潇 |
| 地址： | 213133 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种太阳能电池、臭氧溶液施加装置及太阳能电池的制备方法。所述太阳能电池的制备方法包括：采用硅基片为原料，通过包括激光处理和抛光处理的步骤，制备所述太阳能电池；其中，所述硅基片包括第一表面和第二表面；在所述激光处理和抛光处理的步骤之间，对所述第一表面进行氧化保护；所述氧化保护的步骤包括：采用臭氧溶液与所述第一表面接触，以使得所述第一表面上形成氧化膜。本发明保护太阳能电池的硅基片在碱性溶液刻蚀抛光中不受到非不要地腐蚀，从而在提高太阳能电池光电转换效率的基础上，保证其质量和性能。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 第一表面 硅基片 制备 臭氧溶液 激光处理 抛光处理 光电转换效率 第二表面 碱性溶液 刻蚀抛光 施加装置 氧化膜 腐蚀 保证 | ||
【主权项】：
1.一种臭氧溶液施加装置，适于向太阳能电池的硅基片施加臭氧溶液，以使得所述硅基片上形成氧化保护，其特征在于，包括：/n臭氧溶液发生组件，适于产生臭氧溶液；/n臭氧溶液施加组件，与所述臭氧溶液发生组件连通，容置有所述臭氧溶液；/n滚轮传动组件，承载所述硅基片，并带动所述硅基片移动，以使得所述硅基片经过所述臭氧溶液施加组件。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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