[发明专利]一种双测试室测量材料放气率的装置及方法有效
| 申请号: | 201910882649.3 | 申请日: | 2019-09-18 |
| 公开(公告)号: | CN110501257B | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
| 发明(设计)人: | 关玉慧;董海义;宋洪 | 申请(专利权)人: | 散裂中子源科学中心;中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号: | G01N7/14 | 分类号: | G01N7/14 |
| 代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 郭燕 |
| 地址: | 523808 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本申请公开了一种双测试室测量材料放气率的装置及方法,该装置包括高真空室、第一测试室、第一阀门、第二测试室、第二阀门、超高真空室、粗抽泵机组、精抽泵、第一真空规、第二真空规以及第三真空规。由于增设了第二真空规,打开第一阀门或第二阀门时,可以同时测得第一测试室和第二测试室内的压强,消除了时间引起的误差,同时在实际测量过程中无需进行转换气路的机械动作,既避免了开关阀门对真空读数的扰动,也提高了测量效率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 测试 测量 材料 放气 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种双测试室测量材料放气率的装置,其特征在于,包括:/n高真空室,其用于放置材料样品;/n第一测试室,其与高真空室连通,以使高真空室内的气体能够流入第一测试室,所述第一测试室具有第一小孔,用于供第一测试室内的气体流出;/n第一阀门,其设置在第一测试室与高真空室之间,用于实现高真空室与第一测试室的通断;/n第二测试室,其与高真空室连通,以使高真空室内的气体能够流入第二测试室,所述第二测试室具有第二小孔,用于供第二测试室内的气体流出;/n第二阀门,其设置在第二测试室与高真空室之间,用于实现高真空室与第二测试室的通断;/n超高真空室,其通过第一小孔与第一测试室连通,通过第二小孔与第二测试室连通,用于接收从第一小孔和第二小孔流出的气体;/n至少一套粗抽泵机组,所述超高真空室和高真空室均与粗抽泵机组连通,所述粗抽泵机组用于对超高真空室和/或高真空室进行粗抽真空;/n精抽泵,其与超高真空室连通,用于对超高真空室进行精抽真空;/n第一真空规,其与第一测试室连接,用于测量第一测试室内的压强;/n第二真空规,其与第二测试室连接,用于测量第二测试室内的压强;/n以及第三真空规,其与超高真空室连接,用于测量超高真空室内的压强。/n
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