[发明专利]一种双测试室测量材料放气率的装置及方法

说明书

本申请公开了一种双测试室测量材料放气率的装置及方法，该装置包括高真空室、第一测试室、第一阀门、第二测试室、第二阀门、超高真空室、粗抽泵机组、精抽泵、第一真空规、第二真空规以及第三真空规。由于增设了第二真空规，打开第一阀门或第二阀门时，可以同时测得第一测试室和第二测试室内的压强，消除了时间引起的误差，同时在实际测量过程中无需进行转换气路的机械动作，既避免了开关阀门对真空读数的扰动，也提高了测量效率。

技术领域

本申请涉及真空计量领域，特别涉及一种双测试室测量材料放气率的装置及方法。

背景技术

采用双测试室测量材料放气率时，需要设置两个完全对称的测试室(1号测试室和2号测试室)，两个测试室均具有阀门，通过启闭阀门可以实现气体通路的转换。在进行测量工作时，第一步，先打开且仅打开1号测试室的阀门，让气体通过1号测试室，通过真空规测试1号测试室的压强P1。第二步，打开且仅打开2号测试室的阀门，通过真空规测试1号测试室的压强P2。第三步，将前两步在1号测试室中所测得的压强P1和压强P2相减。

但是，上述第一步和第二步间有时间差，由于放气率是随抽气时间变化的，上述测量方法中压强P1和压强P2相减忽略了时间的影响，从而引入了误差，特别是在多次转换气路时，将引入更多的误差，故而有待改进。

发明内容

本申请提供一种双测试室测量材料放气率的装置及方法，用以解决现有测试装置和测试方法引入了误差的问题。

申请所提供的一种双测试室测量材料放气率的装置，包括：

高真空室，其用于放置材料样品；

第一测试室，其与高真空室连通，以使高真空室内的气体能够流入第一测试室，所述第一测试室具有第一小孔，用于供第一测试室内的气体流出；

第一阀门，其设置在第一测试室与高真空室之间，用于实现高真空室与第一测试室的通断；

第二测试室，其与高真空室连通，以使高真空室内的气体能够流入第二测试室，所述第二测试室具有第二小孔，用于供第二测试室内的气体流出；

第二阀门，其设置在第二测试室与高真空室之间，用于实现高真空室与第二测试室的通断；

超高真空室，其通过第一小孔与第一测试室连通，通过第二小孔与第二测试室连通，用于接收从第一小孔和第二小孔流出的气体；

至少一套粗抽泵机组，所述超高真空室和高真空室均与粗抽泵机组连通，所述粗抽泵机组用于对超高真空室和/或高真空室进行粗抽真空；

精抽泵，其与超高真空室连通，用于对超高真空室进行精抽真空；

第一真空规，其与第一测试室连接，用于测量第一测试室内的压强；

第二真空规，其与第二测试室连接，用于测量第二测试室内的压强；

以及第三真空规，其与超高真空室连接，用于测量超高真空室内的压强。

作为所述装置的进一步改进，所述第一测试室和第二测试室对称设置且大小、形状相同，所述第一小孔和第二小孔的大小、形状相同。

作为所述装置的进一步改进，所述粗抽泵机组包括分子泵和机械泵，所述分子泵与机械泵串联。

作为所述装置的进一步改进，还包括第三阀门，所述第三阀门设置在超高真空室与粗抽泵机组之间，用于实现超高真空室与粗抽泵机组的通断。

作为所述装置的进一步改进，还包括第四阀门，所述第四阀门设置在高真空室与粗抽泵机组之间，用于实现高真空室与粗抽泵机组的通断。

作为所述装置的进一步改进，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门和第四阀门均包括闸板阀和/或角阀。