[发明专利]一种带有自动聚焦功能的激光位移传感器在审
| 申请号： | 201910882385.1 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110657748A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 陆宏杰;戴霖;居冰峰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 33200 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带有自动聚焦功能的激光位移传感器。激光器出射激光，经过发射镜组后投射在被测物体表面，表面散射光经过接收镜组后成像于光敏器件；根据光敏器件上的光斑位置反映的被测物体的距离，通过音圈电机调节发射镜组与激光器的相对位置，可以将激光束准确地聚焦在被测表面。本发明通过自动聚焦机构实现不同测量距离的被测表面上的光斑聚焦，减小了量程范围内光斑尺寸的变化导致的测量误差，能够进一步提高激光三角位移传感器的重复测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光斑 发射镜组 光敏器件 激光器 激光三角位移传感器 聚焦 激光位移传感器 被测物体表面 自动聚焦功能 自动聚焦机构 表面散射光 被测物体 测量距离 光斑位置 接收镜组 音圈电机 重复测量 激光束 出射 减小 量程 投射 成像 激光 测量 | ||
【主权项】：
1.一种带有自动聚焦功能的激光位移传感器，其特征在于：包括壳体(1)和安装在壳体内的激光器(2)、发射镜组(3)、音圈电机(4)、光敏器件(5)、中心处理电路(6)和接收镜组(7)，音圈电机(4)主要由环形线圈定子和安装在环形线圈定子内圈的动子组成，发射镜组(3)安装在音圈电机(4)的动子上，发射镜组(3)的上方设有激光器(2)，发射镜组(3)和激光器(2)的光轴重合且垂直于被测表面(8)，音圈电机(4)的动子带动发射镜组(3)沿环形线圈定子的轴向方向上下移动从而调节发射镜组(3)与激光器(2)之间的轴向距离，音圈电机(4)的一侧沿距离被测表面(8)从近到远的方向依次布置有接收镜组(7)和光敏器件(5)，中心处理电路(6)分别与光敏器件(5)和音圈电机(4)连接。/n
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