[发明专利]一种渐变菲林掩膜版及渐变色盖板的制作方法在审
| 申请号： | 201910877390.3 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN110579939A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 陆志华;陈健立;林汉良 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/70 | 分类号： | G03F1/70;G03F7/00 |
| 代理公司： | 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 李健威 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种渐变菲林掩膜版的制作方法，包括：步骤101：采用矢量图绘制软件绘制渐变矢量图，并将所述渐变矢量图调制成所需的渐变效果；步骤102：依据所述渐变矢量图的灰度数据，控制激光头对感光菲林进行曝光；步骤103：采用显影液对所述感光菲林进行显影，得到渐变菲林掩膜版。该制作方法制作出的渐变菲林掩膜版具有更加精细的透光孔，可提高渐变色盖板的渐变效果，还能降低设计人员的前期设计工作量。本发明还公开了一种渐变色盖板的制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 渐变 矢量图 掩膜版 菲林 感光菲林 渐变效果 渐变色 盖板 制作 矢量图绘制 灰度数据 激光头 透光孔 显影液 显影 工作量 绘制 精细 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种渐变菲林掩膜版的制作方法，其特征在于，包括：/n步骤101：采用矢量图绘制软件绘制渐变矢量图，并将所述渐变矢量图调制成所需的渐变效果；/n步骤102：依据所述渐变矢量图的灰度数据，控制激光头对感光菲林进行曝光；/n步骤103：采用显影液对所述感光菲林进行显影，得到渐变菲林掩膜版。/n
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
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