[发明专利]一种渐变菲林掩膜版及渐变色盖板的制作方法在审

专利信息
申请号: 201910877390.3 申请日: 2019-09-17
公开(公告)号: CN110579939A 公开(公告)日: 2019-12-17
发明(设计)人: 陆志华;陈健立;林汉良 申请(专利权)人: 信利光电股份有限公司
主分类号: G03F1/70 分类号: G03F1/70;G03F7/00
代理公司: 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 代理人: 李健威
地址: 516600 广东省汕*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 渐变 矢量图 掩膜版 菲林 感光菲林 渐变效果 渐变色 盖板 制作 矢量图绘制 灰度数据 激光头 透光孔 显影液 显影 工作量 绘制 精细 曝光
【权利要求书】:

1.一种渐变菲林掩膜版的制作方法,其特征在于,包括:

步骤101:采用矢量图绘制软件绘制渐变矢量图,并将所述渐变矢量图调制成所需的渐变效果;

步骤102:依据所述渐变矢量图的灰度数据,控制激光头对感光菲林进行曝光;

步骤103:采用显影液对所述感光菲林进行显影,得到渐变菲林掩膜版。

2.根据权利要求1所述的渐变菲林掩膜版的制作方法,其特征在于,在步骤101中,所述矢量图绘制软件为CorelDRAW软件。

3.根据权利要求1所述的渐变菲林掩膜版的制作方法,其特征在于,在步骤101中,所述渐变矢量图上具有多个渐变点,所述多个渐变点的尺寸大小和/或密度大小沿渐变方向逐渐减大。

4.根据权利要求1所述的渐变菲林掩膜版的制作方法,其特征在于,在步骤101中,将调制成所需的渐变效果的渐变矢量图的灰度数据采用CDR格式文件导出和保存。

5.根据权利要求1所述的渐变菲林掩膜版的制作方法,其特征在于,在步骤102中,所述渐变矢量图上的每个像素点都具有其图像位置和灰度值。

6.根据权利要求5所述的渐变菲林掩膜版的制作方法,其特征在于,每个像素点采用(X,Y,0/255)表示,其中X表示所述像素点在所述渐变矢量图上的横向位置,Y表示所述像素点在所述渐变矢量图上的纵向位置,0/255表示所述像素点的灰度值。

7.根据权利要求1、5或6所述的渐变菲林掩膜版的制作方法,其特征在于,所述感光菲林上的像素点与所述渐变矢量图上的像素点一一对应,步骤102中,依据所述渐变矢量图上每个像素点的图像位置控制所述激光头在所述感光菲林的表面上进行移动,以将所述激光头定位至所述感光菲林的对应像素点上,依据所述渐变矢量图上每个像素点的灰度值控制所述激光头对所述感光菲林上完成定位的像素点进行曝光或不曝光。

8.根据权利要求1所述的渐变菲林掩膜版的制作方法,其特征在于,在步骤103中,将显影后的感光菲林贴合在预先制好的玻璃载板上。

9.一种渐变色盖板的制作方法,其特征在于,包括:

步骤1:在玻璃盖板上覆盖一层感光油墨;

步骤2:采用权利要求1-8中任一所述的渐变菲林掩膜版对所述感光油墨进行曝光;

步骤3:采用显影液对所述感光油墨进行显影;

步骤4:在所述感光油墨上以及从所述感光油墨中露出的所述玻璃盖板的露出区域上覆盖一层底色油墨,所述感光油墨和底色油墨的颜色不同,得到渐变色盖板。

10.根据权利要求9所述的渐变色盖板的制作方法,其特征在于,在步骤3中,显影后的感光油墨上具有多个油墨点,所述多个油墨点的尺寸大小和/或密度大小沿渐变方向逐渐减大。

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