[发明专利]感光性树脂组合物、干膜抗蚀层有效
| 申请号： | 201910867734.2 | 申请日： | 2019-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN110531583B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 朱高华 | 申请（专利权）人： | 浙江福斯特新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/09 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 裴金华 |
| 地址： | 311305 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种感光性树脂组合物、干膜抗蚀层。该树脂组合物包括40～70重量份的碱可溶性树脂、20～50重量份的光聚合单体、0.5～10.0重量份光引发剂和0.1～10.0重量份添加剂，所述碱可溶性树脂含有15～35质量％的来自(甲基)丙烯酸的结构单元、15～55质量％的来自(甲基)丙烯酸苄基酯的结构单元、15～55质量％的苯乙烯的结构单元、和1～7质量％的来自(甲基)丙烯酸羟乙酯的结构单元。本发明所的树脂组合物制成干膜抗蚀层时，具有优异的附着力、分辨率和退膜速度快等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 干膜抗蚀层 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，该树脂组合物包括40～70重量份的碱可溶性树脂、20～50重量份的光聚合单体、0.5～10.0重量份光引发剂和0.1～10.0重量份添加剂，所述碱可溶性树脂含有通式（1）15～35质量％的来自(甲基)丙烯酸的结构单元、通式（2）15～55质量％的来自(甲基)丙烯酸苄基酯的结构单元、通式（3）15～55质量％的苯乙烯的结构单元、和通式（4）1～7质量％的来自(甲基)丙烯酸羟乙酯的结构单元；/n通式（1）
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