[发明专利]基板磨削装置以及基板磨削方法有效
| 申请号： | 201910863453.X | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110900313B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 井出悟;三井贵彦;坂东翼;高冈和宏 | 申请（专利权）人： | 株式会社冈本工作机械制作所 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B27/00;B24B41/02;B24B41/04;B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 崔迎宾;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板磨削装置以及基板磨削方法。基板磨削装置具备：工作台，在吸附并保持基板的状态下旋转；杯形的第一磨削砂轮，一边旋转一边磨削保持于所述工作台并旋转的所述基板；以及杯形的第二磨削砂轮，与所述第一磨削砂轮同时接近所述基板而一边旋转一边磨削所述基板。 | ||
| 搜索关键词： | 磨削 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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