[发明专利]一种多波段滤光传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种多波段滤光传感器，包括基底电路层，所述基底电路层上电连接有光敏器件层；所述光敏器件层上设置有滤光结构层，所述滤光结构层上设置有透明的聚焦结构层，所述聚焦结构层用于将光线聚焦到光敏器件层；所述聚焦结构层包括多个周期性排列的氮化硅纳米柱，多个纳米柱能够在可见光范围内产生0‑2π的相移。本发明的聚焦结构层能够获得所需的任意的相位轮廓，同时保持大的传输幅度，从而可以实现在可见光范围内具有恒定的焦距；聚焦结构层利用的是连续直径变化的纳米柱改变入射光相位轮廓，从而实现聚焦功能，结构简单，便于制备，可以实现可见光谱范围内的聚光。

主权项

1.一种多波段滤光传感器，其特征在于：包括基底电路层(1)，所述基底电路层(1)上电连接有光敏器件层(2)；所述光敏器件层(2)上设置有滤光结构层(3)，所述滤光结构层(3)上设置有透明的聚焦结构层(6)，所述聚焦结构层(6)用于将光线聚焦到光敏器件层(2)；所述聚焦结构层(6)包括多个周期性排列的纳米柱(61)，多个纳米柱(61)能够在可见光范围内产生0-2π的相移。/n