[发明专利]用于确定边缘环特性的系统和方法有效
| 申请号： | 201910856579.4 | 申请日： | 2017-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN110767525B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 马库斯·穆瑟尔曼;安德鲁·D·贝利三世;乔恩·麦克切斯尼 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于执行边缘环表征的系统和方法。衬底处理系统中的衬底支撑件包括：内部部分，围绕所述内部部分的边缘环，以及控制器。所述控制器配置为：选择性地升高边缘环，接收指示布置在内部部分上的测试衬底的定位的测量信号，基于指示测试衬底的定位的测量信号确定所述边缘环何时接合测试衬底，并且基于对所述边缘环何时接合测试衬底的所述确定来计算所述边缘环的至少一个特征。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 边缘 特性 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种衬底处理系统中的衬底支撑件，所述衬底支撑件包括：/n内部部分；/n围绕所述内部部分的边缘环；以及/n控制器，其被配置成：/n选择性地升高所述边缘环，/n接收指示布置在所述内部部分上的测试衬底的定位的测量信号，/n基于指示所述测试衬底的所述定位的所述测量信号确定所述边缘环何时接合所述测试衬底，以及/n基于对所述边缘环何时接合所述测试衬底的所述确定来计算所述边缘环的至少一个特性。/n
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