[发明专利]一种匹配箱的阻抗调节方法、装置及射频电源系统在审
| 申请号： | 201910844116.6 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN110536534A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 林伟群;乐卫平;张桂东;姚志毅 | 申请（专利权）人： | 深圳市百世达半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高勇<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 518102 广东省深圳市宝安区西乡街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种匹配箱的阻抗调节方法、装置及射频电源系统，首先建立匹配箱的简化模型，在建立简化模型时，保留了匹配箱原本的两个控制自由度，采用的是第二电感和第一电容构成的第一支路和第三电感和及第二电容构成的第二支路的形式，在确定简化模型中的三个电感的电感值后，通过对第一电容和第二电容的距离的调节来调节匹配箱的阻抗，通过该种方式使得简化模型能够逼近匹配箱的实际电路结构的功能，一方面，本申请中采用两个支路，且支路均有电容和电感串联连接构成，可以配合调节，出现优化方向错误的概率极低，从而提高了阻抗调节的精度和可靠性；另一方面，简化模型的参数少，计算量小，匹配速度快。 | ||
| 搜索关键词： | 简化模型 电容 匹配箱 电感 支路 阻抗调节 控制自由度 电感串联 射频电源 实际电路 优化方向 计算量 阻抗 匹配 逼近 概率 保留 申请 配合 | ||
【主权项】：
1.一种匹配箱的阻抗调节方法，其特征在于，包括：/n建立所述匹配箱的简化模型；其中，所述简化模型包括第一电感、串联连接构成第一支路的第二电感和第一电容、串联连接构成第二支路的第三电感和及第二电容，所述第一电感的一端分别与所述第一支路的一端及所述第二支路的一端连接，所述第一电感的另一端及所述第一支路的另一端与射频电源连接，所述第二支路的另一端与所述第一支路的另一端与负载连接；/n获取多组所述简化模型的测量参数，所述测量参数包括第一电容的电容值、第二电容的电容值及此时所述简化模型的输入阻抗和负载阻抗；/n根据多组所述测量参数、所述简化模型与所述输入阻抗及所述负载阻抗的关系得到所述第一电感的电感值、第二电感的电感值及第三电感的电感值；/n获取当前负载阻抗，根据所述当前负载阻抗和预设输入阻抗确定所述第一电容和所述第二电容的电容值关系，并对所述第一电容和/或所述第二电容的极板距离进行调整，以使所述第一电容和所述第二电容满足所述电容值关系。/n
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