[发明专利]光学感测器及其形成方法

摘要

本发明提供一种光学感测器及其形成方法，该光学感测器包含：衬底、第一阱、第二阱、第三阱、深沟槽隔离结构、以及钝化层。衬底具有第一导电类型且包含感测区。第一阱位于感测区中，其具有第二导电类型以及第一深度。第二阱位于感测区中，其具有第二导电类型以及第二深度。第三阱位于感测区中，其具有第一导电类型以及第三深度。深沟槽隔离结构位于衬底中且围绕感测区，其中深沟槽隔离结构的深度大于第一深度，第一深度大于第二深度，且第二深度大于第三深度。钝化层位于衬底之上，其中钝化层包含多个突出部位于此感测区的正上方，实现提升光学感测器的量子效率。