[发明专利]一种超高真空内气体电离装置

摘要

本发明涉及一种超高真空内气体电离装置，将气体传输到超高真空腔体内并用热电离的方式将气体分子电离。该装置由气体导管、电加热丝、绝缘片、螺杆、电源线、四通腔体、直线导入器组成。电加热丝固定在绝缘片上，绝缘片固定在螺杆上，螺杆与直线导入器相连接。通过直线导入器，可以使电加热丝沿螺杆方向自由移动，进而控制加热丝与目标样品的距离。电源线一端连接电加热丝，一端连接在法兰的电极接线柱上，外接直流源通过电极接线柱为加热丝供电。使用装置时，通过直线导入器移动电加热丝至气体导管口附近，接通电源加热电加热丝，电加热丝达到使用温度后，通过气体导管导入气体，气体分子被高温电加热丝热电离成原子或离子。

主权项

1.一种超高真空内气体电离装置，其特征在于：该装置由气体导管(1)、电加热丝(2)、绝缘片(3)、螺杆(4)、电源线(6)、四通腔体(8)、直线导入器(11)组成。四通腔体(8)上有四个法兰，分别连接电源法兰、封闭腔体，气体源和直线导入器(11)。气体导管(1)在末端与螺杆(4)平行。/n电加热丝(2)固定在绝缘片(3)上，绝缘片(3)固定在螺杆(4)上，螺杆(4)与直线导入器(11)相连接，使电加热丝(2)随绝缘片(3)获得沿螺杆(4)方向—即气体导管(1)末端方向—的移动自由度。电源线(6)一端连接电加热丝(2)，一端连接在电源法兰(5)上，给电加热丝(2)提供电源。使用时移动电加热丝(2)至气体导管(1)口附近，接通电源加热电加热丝(2)，电加热丝(2)达到使用温度后，通过气体导管(1)导入气体，气体分子被高温电加热丝(2)热电离成原子或者离子。/n