[发明专利]一种微纳金属三维结构的制备方法在审
| 申请号： | 201910820833.5 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN112441555A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 王欢;解婧;李超波;邢建鹏;刘丽花 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/04 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微纳金属三维结构的制备方法，包括：在衬底上由下至上形成N层金属结构层，所述金属结构层包括图形化的第一金属层和第二金属层，所述第一金属层与所述第二金属层的材料不同；去除每层金属结构层中的所述第一金属层或第二金属层，获得微纳金属三维结构；其中，所述每层金属结构层的形成步骤如下：形成光敏材料层；在所述光敏材料层的预设区域进行固化处理，形成图形化的掩膜，去除未经固化处理的所述光敏材料层；在去除未经固化处理的所述光敏材料层的区域形成第一金属层，并去除所述掩模；在去除所述掩模的区域形成第二金属层，进而提高了加工效率和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 三维 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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