[发明专利]一种高效智能连续式真空镀膜设备在审
| 申请号： | 201910813114.0 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN110438466A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 龙志光 | 申请（专利权）人： | 深圳市超为龙科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 518108 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高效智能连续式真空镀膜设备，包括将工件进行输送的输送装置、对工件进行抽真空和离子光辉清洗的进片室、对工件抽至真空状态的过渡室、对工件进行缓冲的第一缓冲室、恒定速度运行的镀膜室、多工件涂镀一层或多层金属膜的磁控溅射镀膜区、完成镀膜工件的第二缓冲室和出片室，所述出片室输出端设有对工件表面镀膜进行检测的出片检测装置，此高效智能连续式真空镀膜设备，不仅比单体机的生产效率高，而且产品质量也得到了最大的保证，同时通过设置的出片检测装置，从而实现对工件进行输送的同时，实现对工件的表面缺陷快速检测，同时可以通过人工翻转工件对工件的正反面进行同时检测的作用，有效的提高后续工件进行镀膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 连续式真空镀膜 高效智能 检测装置 出片室 缓冲室 出片 镀膜 恒定 磁控溅射镀膜 表面缺陷 镀膜工件 工件表面 快速检测 生产效率 输送装置 真空状态 翻转 抽真空 单体机 镀膜室 过渡室 金属膜 进片室 输出端 正反面 检测 缓冲 多层 涂镀 离子 清洗 保证 | ||
【主权项】：
1.一种高效智能连续式真空镀膜设备，包括将工件进行输送的输送装置（1）、对工件进行抽真空和离子光辉清洗的进片室（2）、对工件抽至真空状态的过渡室（3）、对工件进行缓冲的第一缓冲室（4）、恒定速度运行的镀膜室（5）、多工件涂镀一层或多层金属膜的磁控溅射镀膜区（6）、完成镀膜工件的第二缓冲室（7）和出片室（8），其特征在于：所述出片室（8）输出端设有对工件表面镀膜进行检测的出片检测装置（9）。
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