[发明专利]一种高效智能连续式真空镀膜设备

权利要求书

1.一种高效智能连续式真空镀膜设备，包括将工件进行输送的输送装置（1）、对工件进行抽真空和离子光辉清洗的进片室（2）、对工件抽至真空状态的过渡室（3）、对工件进行缓冲的第一缓冲室（4）、恒定速度运行的镀膜室（5）、多工件涂镀一层或多层金属膜的磁控溅射镀膜区（6）、完成镀膜工件的第二缓冲室（7）和出片室（8），其特征在于：所述出片室（8）输出端设有对工件表面镀膜进行检测的出片检测装置（9）。

2.根据权利要求1所述的一种高效智能连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述出片检测装置（9）包括支撑传送架（10）、支撑轴（11）、支撑滚轮（12）、支撑件（13）、定位件（14）和检测件（15），所述支撑传送架（10）位于出片室（8）输出端上，若干个所述支撑轴（11）的两端与支撑传送架（10）转动连接，且若干个支撑轴（11）与外界电力驱动系统电性连接，若干个所述支撑滚轮（12）均匀固定在支撑轴（11）上，若干个所述支撑轴（11）底端设有支撑件（13），且支撑件（13）输出端通过螺栓固定连接有若干个定位件（14），且若干个定位件（14）均匀分布在支撑轴（11）上，所述检测件（15）设置在支撑传送架（10）顶端，且检测件（15）输出端位于若干个支撑滚轮（12）上方。

3.根据权利要求2所述的一种高效智能连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述检测件（15）包括底板（16）、升降件（17）、限位板（18）、摄像头（19）和照明灯（20），所述底板（16）固定连接在支撑传送架（10）顶端，且升降件（17）固定连接在底板（16）上，所述升降件（17）输出端穿过底板（16）与限位板（18）固定连接，所述摄像头（19）固定连接在限位板（18）底端，且摄像头（19）输出端与外界设备电性连接，所述摄像头（19）位于若干个支撑滚轮（12）上方，所述摄像头（19）外侧设有若干个照明灯（20），且照明灯（20）固定连接在底板（16）底端。

4.根据权利要求3所述的一种高效智能连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述升降件（17）包括转动电机（21）、驱动齿轮（22）、从动齿轮（23）、螺纹套（24）、螺纹杆（25）和伸缩杆（26），所述转动电机（21）固定连接在底板（16）上，且转动电机（21）输出端与驱动齿轮（22）固定连接，所述驱动齿轮（22）与从动齿轮（23）啮合连接，且从动齿轮（23）固定套接在螺纹套（24）顶端，所述螺纹套（24）转动连接在底板（16）上，且螺纹套（24）转动套接在螺纹杆（25）外侧，所述螺纹杆（25）底端穿过底板（16）与限位板（18）固定连接，且螺纹杆（25）与底板（16）滑动连接。

5.根据权利要求4所述的一种高效智能连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述螺纹杆（25）顶端固定连接有防脱板（27）。

6.根据权利要求2所述的一种高效智能连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述支撑件（13）包括丝杆（28）、驱动电机（29）、驱动套（30）、支撑杆（31）和支撑板（32），所述支撑传送架（10）对应若干个支撑轴（11）的下方设有凹槽（33），所述丝杆（28）与凹槽（33）转动连接，且丝杆（28）位于支撑传送架（10）外侧的一端与驱动电机（29）固定连接，所述驱动电机（29）固定连接在支撑传送架（10）上，两个所述驱动套（30）转动套接在丝杆（28）外侧，且两个驱动套（30）滑动与支撑传送架（10）滑动连接，所述支撑杆（31）的两端分别与驱动套（30）和支撑板（32）固定连接，所述支撑板（32）上设有若干个螺纹孔，且定位件（14）通过螺栓与螺纹孔螺纹连接。

7.根据权利要求6所述的一种高效智能连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述驱动套（30）为T形状。