[发明专利]一种高效智能连续式真空镀膜设备

说明书

本发明公开了一种高效智能连续式真空镀膜设备，包括将工件进行输送的输送装置、对工件进行抽真空和离子光辉清洗的进片室、对工件抽至真空状态的过渡室、对工件进行缓冲的第一缓冲室、恒定速度运行的镀膜室、多工件涂镀一层或多层金属膜的磁控溅射镀膜区、完成镀膜工件的第二缓冲室和出片室，所述出片室输出端设有对工件表面镀膜进行检测的出片检测装置，此高效智能连续式真空镀膜设备，不仅比单体机的生产效率高，而且产品质量也得到了最大的保证，同时通过设置的出片检测装置，从而实现对工件进行输送的同时，实现对工件的表面缺陷快速检测，同时可以通过人工翻转工件对工件的正反面进行同时检测的作用，有效的提高后续工件进行镀膜的质量。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种高效智能连续式真空镀膜设备。

背景技术

目前，现有的连续镀膜生产线在进行可以实现连续不间断镀膜，保证不破坏真的条件下，镀制我们所需要膜层，但现有连续镀膜生产线存在一些较为复杂的膜无法完成，一些特殊的膜层的厚度通过一次无法达到，同时工件进行出片时，部分工件表面则会出现表面缺陷的现象而无法及时检测发现到，从而影响后续工件进行镀膜的质量。为此，我们提出一种高效智能连续式真空镀膜设备。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高效智能连续式真空镀膜设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种高效智能连续式真空镀膜设备，包括将工件进行输送的输送装置、对工件进行抽真空和离子光辉清洗的进片室、对工件抽至真空状态的过渡室、对工件进行缓冲的第一缓冲室、恒定速度运行的镀膜室、多工件涂镀一层或多层金属膜的磁控溅射镀膜区、完成镀膜工件的第二缓冲室和出片室，所述出片室输出端设有对工件表面镀膜进行检测的出片检测装置。

优选的，所述出片检测装置包括支撑传送架、支撑轴、支撑滚轮、支撑件、定位件和检测件，所述支撑传送架位于出片室输出端上，若干个所述支撑轴的两端与支撑传送架转动连接，且若干个支撑轴与外界电力驱动系统电性连接，若干个所述支撑滚轮均匀固定在支撑轴上，若干个所述支撑轴底端设有支撑件，且支撑件输出端通过螺栓固定连接有若干个定位件，且若干个定位件均匀分布在支撑轴上，所述检测件设置在支撑传送架顶端，且检测件输出端位于若干个支撑滚轮上方。

优选的，所述检测件包括底板、升降件、限位板、摄像头和照明灯，所述底板固定连接在支撑传送架顶端，且升降件固定连接在底板上，所述升降件输出端穿过底板与限位板固定连接，所述摄像头固定连接在限位板底端，且摄像头输出端与外界设备电性连接，所述摄像头位于若干个支撑滚轮上方，所述摄像头外侧设有若干个照明灯，且照明灯固定连接在底板底端。

优选的，所述升降件包括转动电机、驱动齿轮、从动齿轮、螺纹套、螺纹杆和伸缩杆，所述转动电机固定连接在底板上，且转动电机输出端与驱动齿轮固定连接，所述驱动齿轮与从动齿轮啮合连接，且从动齿轮固定套接在螺纹套顶端，所述螺纹套转动连接在底板上，且螺纹套转动套接在螺纹杆外侧，所述螺纹杆底端穿过底板与限位板固定连接，且螺纹杆与底板滑动连接。

优选的，所述螺纹杆顶端固定连接有防脱板。

优选的，所述支撑件包括丝杆、驱动电机、驱动套、支撑杆和支撑板，所述支撑传送架对应若干个支撑轴的下方设有凹槽，所述丝杆与凹槽转动连接，且丝杆位于支撑传送架外侧的一端与驱动电机固定连接，所述驱动电机固定连接在支撑传送架上，两个所述驱动套转动套接在丝杆外侧，且两个驱动套滑动与支撑传送架滑动连接，所述支撑杆的两端分别与驱动套和支撑板固定连接，所述支撑板上设有若干个螺纹孔，且定位件通过螺栓与螺纹孔螺纹连接。

优选的，所述驱动套为T形状。

优选的，所述定位件包括定位杆、定位板、限位滚轮和连接轴，两个所述定位杆的底端设有通孔，且螺栓的底端穿过通孔与支撑板螺纹连接，两个所述定位杆顶端与定位板固定连接，且两个定位杆位于支撑轴外侧，所述限位滚轮通过轴承转动套接在连接轴外侧，且连接轴固定连接在定位板上。