[发明专利]钙钛矿薄膜一步法卷对卷的连续制备装置及制备方法在审

专利信息
申请号: 201910811050.0 申请日: 2019-08-29
公开(公告)号: CN110444666A 公开(公告)日: 2019-11-12
发明(设计)人: 郑永强 申请(专利权)人: 苏州威格尔纳米科技有限公司;江苏集萃分子工程研究院有限公司
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00
代理公司: 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 代理人: 孟宏伟
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 钙钛矿薄膜一步法卷对卷的连续制备装置及制备方法,沿基材传输方向依次设置有放卷装置、基材预热辊组、涂布装置、退火装置以及收卷装置,基材预热辊组包括有第一辊体,第一辊体内部设置有用于流通导热介质的流道;涂布装置包括有涂布背辊以及狭缝模头,狭缝模头朝涂布背辊一侧供给溶液。基材第一辊体进行预热再经涂布背辊加热至涂布工艺所需的温度,溶液经过狭缝模头涂布在基材表面,溶剂在高温作用下快速挥发,使溶质留在基材的表面并形成膜层,具有膜层基材进入退火装置进行退火,钙钛矿晶体进一步形成并生长,该装置实现了钙钛矿薄膜的高温涂布,且可实现对基材温度的良好控制,从而实现对溶剂萃取速率的调控,最终实现钙钛矿的良好结晶。
搜索关键词: 基材 钙钛矿薄膜 涂布背辊 狭缝模头 连续制备装置 涂布装置 退火装置 卷对卷 一步法 预热辊 辊体 制备 退火 钙钛矿晶体 传输方向 导热介质 放卷装置 高温涂布 高温作用 基材表面 膜层基材 溶剂萃取 收卷装置 涂布工艺 依次设置 装置实现 钙钛矿 体内部 预热 挥发 流道 膜层 溶剂 溶质 加热 生长 调控 流通
【主权项】:
1.钙钛矿薄膜一步法卷对卷的连续制备装置,其特征在于,沿基材传输方向依次设置有放卷装置、基材预热辊组、涂布装置、退火装置以及收卷装置,所述基材预热辊组包括有第一辊体,所述第一辊体内部设置有用于流通导热介质的流道;所述涂布装置包括有涂布背辊以及狭缝模头,所述狭缝模头朝所述涂布背辊一侧供给溶液;所述退火装置包括有箱体以及设置在所述箱体内的传输装置,所述箱体内设置有加热装置。
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