[发明专利]一种二自由度宏微精密定位平台装置及控制方法在审
| 申请号： | 201910807872.1 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110434835A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 邱志成;姚锡森;张宪民 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;B25J9/10;B25J9/12;B25J9/16;B25J19/02 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 王东东 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二自由度宏微精密定位平台装置及控制方法，包括定位平台本体部分、检测部分及控制部分；X、Y轴宏动平台可在直线电机的驱动下实现宏动，XY轴微动平台由压电陶瓷驱动器驱动，所述检测部分包括用于检测XY轴微动平台位移信号的电容位移传感器、用于检测X轴宏动平台位移的X轴光栅位移传感器及用于检测Y轴宏动平台运动位移的Y轴光栅位移传感器；所述控制部分包括数据采集卡、运动控制卡、计算机、压电陶瓷控制器及直线电机伺服放大器，该装置采用了宏‑微驱动结合的方式，可以在宏动粗位移下拥有快速响应、大行程的特点，又具有柔性铰链体积小、无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高的优点，可以实现高精度精密定位。 | ||
| 搜索关键词： | 动平台 检测 光栅位移传感器 精密定位平台 二自由度 微动平台 直线电机 电容位移传感器 压电陶瓷控制器 压电陶瓷驱动器 数据采集卡 伺服放大器 运动控制卡 运动灵敏度 驱动 定位平台 机械摩擦 精密定位 快速响应 柔性铰链 位移信号 运动位移 大行程 体积小 微驱动 无间隙 计算机 | ||
【主权项】：
1.一种二自由度宏微精密定位平台装置，其特征在于，包括定位平台本体部分、检测部分及控制部分；所述定位平台本体部分包括气浮平台，所述气浮平台上设置定位平台底座，所述定位平台底座设置X轴导轨，所述X轴导轨上设置X轴宏动平台，所述X轴宏动平台设置Y轴导轨，所述Y轴导轨上设置Y轴宏动平台，XY轴微动平台通过四组相同的柔性铰链设置在Y轴宏动平台上；还包括驱动X轴导轨运动的X轴直线电机、驱动Y轴导轨运动的Y轴直线电机及驱动柔性铰链发生变形进一步使XY轴微动平台运动的压电陶瓷驱动器；所述检测部分包括用于检测XY轴微动平台位移信号的电容位移传感器、用于检测X轴宏动平台位移的X轴光栅位移传感器及用于检测Y轴宏动平台运动位移的Y轴光栅位移传感器；所述控制部分包括数据采集卡、运动控制卡、计算机、压电陶瓷控制器及直线电机伺服放大器；所述检测部分的检测信息输入数据采集卡进一步输入到计算机，计算机与运动控制卡相互连接，所述运动控制卡分别与压电陶瓷控制器及直线电机伺服放大器相互连接。
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