[发明专利]显示器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910790857.0 申请日: 2019-08-26
公开(公告)号: CN110518134B 公开(公告)日: 2022-10-21
发明(设计)人: 穆欣炬;周文斌;史凯兴 申请(专利权)人: 苏州清越光电科技股份有限公司
主分类号: H01L51/50 分类号: H01L51/50;H01L51/56;H01L27/32
代理公司: 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 代理人: 李红艳
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种显示器及其制备方法。该显示器的制备方法中,所使用的掩膜版采用硅晶片作为主体,且硅晶片上具有多个采用硅通孔技术形成的开口。该掩膜版的开口采用硅通孔技术形成,不受限于金属掩膜版的制备技术,从而可以减小掩膜版上的开口大小,进而增加显示器的像素密度。
搜索关键词: 显示器 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种显示器的制备方法,其特征在于,包括:/n提供掩膜版(10),所述掩膜版(10)包括硅晶片(100),所述硅晶片(100)具有多个采用硅通孔技术形成的贯通所述硅晶片(100)的开口(102);/n提供显示基板(20),所述显示基板(20)包括硅衬底(22)及位于所述硅衬底(22)上的驱动电路(24),所述驱动电路(24)具有用于输出电流的阳极(242);/n通过所述掩膜版(10)向所述显示基板(20)上蒸镀有机发光材料(30),所述有机发光材料(30)覆盖所述阳极(242)。/n
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