[发明专利]一种硅片或晶片清洗机在审
| 申请号： | 201910787027.2 | 申请日： | 2019-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN110369385A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 马玉水 | 申请（专利权）人： | 马玉水 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67;B25J15/10;B25J15/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 252800 山东省聊城市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片或晶片清洗机，包括机架、上料台、清洗槽组件、出料台、多关节抓取机械手；上料台、出料台分别位于清洗槽组件的两侧；清洗槽组件上设有若干清洗槽；机架前侧面清洗槽组件以上敞开，其余面封闭；机架上设有抽风装置；多关节抓取机械手的靠近机架端位于清洗槽组件的上方；多关节抓取机械手的远离机架端位于机架的正前方；多关节抓取机械手的靠近机架端上设有转盘，转盘上设有抓取装置。本发明电子元器件清洗机具有抓取精度高、造价低、使用寿命长的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗槽 抓取机械手 多关节 晶片清洗机 出料台 上料台 硅片 转盘 抓取 电子元器件 抽风装置 使用寿命 抓取装置 正前方 面封闭 前侧面 清洗机 敞开 | ||
【主权项】：
1.一种硅片或晶片清洗机，其特征在于：包括机架（1）、上料台（2）、清洗槽组件（3）、出料台（4）、多关节抓取机械手（5）；上料台（2）、出料台（4）分别位于清洗槽组件（3）的两侧；清洗槽组件（3）上设有若干清洗槽（6）；机架（1）的前侧面清洗槽组件（3）以上敞开，机架（1）的其余面封闭；机架（1）上设有抽风装置（10）；多关节抓取机械手（5）的靠近机架端（51）位于清洗槽组件（3）的上方；多关节抓取机械手（5）的远离机架（1）端位于机架（1）的正前方；多关节抓取机械手（5）的靠近机架端（51）上设有转盘（53），转盘（53）上设有抓取装置（52）；通过抓取装置（52）取机械手（5）抓取上料台（2）将装有硅片或晶片的清洗篮（7），放入清洗槽组件（3）上的各清洗槽（6）内清洗，清洗完成后抓取出料台（4）上。
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