[发明专利]金属氧化物结晶结构及具有此金属氧化物结晶结构的显示面板的电路结构及薄膜晶体管在审

专利信息
申请号: 201910778192.1 申请日: 2019-08-22
公开(公告)号: CN110459587A 公开(公告)日: 2019-11-15
发明(设计)人: 黄景亮;叶家宏 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: H01L29/04 分类号: H01L29/04;H01L29/786;H01L27/12
代理公司: 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人: 张燕华;祁建国<国际申请>=<国际公布>
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 中国台湾;TW
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摘要: 发明公开一种金属氧化物结晶结构及具有此金属氧化物结晶结构的显示面板的电路结构及薄膜晶体管。金属氧化物结晶结构包含铟、锡、镓及氧原子,其中铟:锡:镓:氧的原子比例为2:1:1:6,且金属氧化物结晶结构具有结晶单元为菱形六面体。本发明的金属氧化物结晶结构具有原子结构几何优化观点的结晶单元,具有高稳定性及高载子移动率适用于显示面板的薄膜晶体管。
搜索关键词: 金属氧化物结晶 薄膜晶体管 结晶单元 显示面板 原子结构 菱形六面体 电路结构 高稳定性 几何优化 氧原子 移动
【主权项】:
1.一种金属氧化物结晶结构,包含铟、锡、镓及氧原子,其特征在于:/n铟:锡:镓:氧的原子比例为2:1:1:6,且该金属氧化物结晶结构具有一结晶单元为菱形六面体。/n
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