[发明专利]感光性树脂、感光性树脂组合物及应用有效
| 申请号： | 201910775852.0 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN112415851B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 钱晓春;葛庆余;马培培;胡春青;于培培 | 申请（专利权）人： | 常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司;泰兴先先化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;C08G63/547 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张美月 |
| 地址： | 213159 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种感光性树脂、感光性树脂组合物及应用。该感光性树脂具有式(Ⅰ)所示结构。上述感光性树脂的分子链末端为酸酐开环的烯烃键，且开环双键的活性要优于闭环双键的活性，因而酸酐开环的烯烃键的存在一方面有利于提高感光性树脂的反应活性，另一方面还能够降低感光性树脂的重均分子量，同时降低低分子量聚合物的含量，进而能够提高光刻胶的显影速度，缩短工序时间，减小显影缺陷，提高图案的分辨率。上述两方面的原因使得式(Ⅰ)所示的感光性树脂具有感度好、固化速率高、显影速度快等优点。 |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 应用 | ||
【主权项】：
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