[发明专利]一种OLED面板及制作方法在审
申请号: | 201910775176.7 | 申请日: | 2019-08-21 |
公开(公告)号: | CN110600507A | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 陈宇怀 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 35219 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 林祥翔;郭鹏飞 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种OLED面板及制作方法,其中方法包括如下步骤,准备基板,在基板上先后成膜第一导电膜层及栅极层,在电容区蚀刻所有栅极金属,在薄膜晶体管区保留栅极金属及第一导电膜层,在其他区域根据图案化需要蚀刻栅极金属及导电膜层;随后进行步骤,制作栅极绝缘层,在薄膜晶体管区制作有源层,再制作蚀刻阻挡层并留出过孔,先后成膜第二导电膜层及电极层,在电容区蚀刻所有电极金属,在薄膜晶体管区保留源漏极和第二导电膜层,所述源漏极通过第二导电膜层与有源层接触。本发明通过成膜透明导电膜以及金属膜层,并结合灰阶光罩,在画素电容区仅保留透明导电膜,使得面板金属膜层的面积进一步减少,增加面板的透光性。 | ||
搜索关键词: | 导电膜层 薄膜晶体管区 蚀刻 栅极金属 电容区 成膜 透明导电膜 金属膜层 源漏极 制作 基板 源层 保留 蚀刻阻挡层 栅极绝缘层 电极金属 灰阶光罩 电极层 透光性 图案化 栅极层 画素 | ||
【主权项】:
1.一种OLED面板,其特征在于,包括薄膜晶体管区和电容区,所述电容区包括电容极板,所述电容区不包括金属层,所述电容极板与薄膜晶体管区的电极层连接,所述电容极板为透明导电膜层。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的