[发明专利]一种OLED面板及制作方法在审

专利信息
申请号: 201910775176.7 申请日: 2019-08-21
公开(公告)号: CN110600507A 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 陈宇怀 申请(专利权)人: 福建华佳彩有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32
代理公司: 35219 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 林祥翔;郭鹏飞
地址: 351100 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种OLED面板及制作方法,其中方法包括如下步骤,准备基板,在基板上先后成膜第一导电膜层及栅极层,在电容区蚀刻所有栅极金属,在薄膜晶体管区保留栅极金属及第一导电膜层,在其他区域根据图案化需要蚀刻栅极金属及导电膜层;随后进行步骤,制作栅极绝缘层,在薄膜晶体管区制作有源层,再制作蚀刻阻挡层并留出过孔,先后成膜第二导电膜层及电极层,在电容区蚀刻所有电极金属,在薄膜晶体管区保留源漏极和第二导电膜层,所述源漏极通过第二导电膜层与有源层接触。本发明通过成膜透明导电膜以及金属膜层,并结合灰阶光罩,在画素电容区仅保留透明导电膜,使得面板金属膜层的面积进一步减少,增加面板的透光性。
搜索关键词: 导电膜层 薄膜晶体管区 蚀刻 栅极金属 电容区 成膜 透明导电膜 金属膜层 源漏极 制作 基板 源层 保留 蚀刻阻挡层 栅极绝缘层 电极金属 灰阶光罩 电极层 透光性 图案化 栅极层 画素
【主权项】:
1.一种OLED面板,其特征在于,包括薄膜晶体管区和电容区,所述电容区包括电容极板,所述电容区不包括金属层,所述电容极板与薄膜晶体管区的电极层连接,所述电容极板为透明导电膜层。/n
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