[发明专利]一种真空预清洁装置及形成方法、真空预清洁装置的使用方法在审
| 申请号： | 201910763602.5 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN110459457A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 朱晓彤;吴明;林宗贤;郭松辉 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐文欣<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 223302江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种真空预清洁装置及形成方法、真空预清洁装置的使用方法，真空预清洁装置包括：腔壁，与所述腔壁连接的电源连接结构；载台，所述载台具有承载面，所述载台与所述腔壁固定连接；位于所述载台边缘和所述腔壁之间的挡板，所述挡板分别与所述腔壁和所述载台可拆卸连接；吸附板，所述吸附板包括基板和位于基板表面的若干层复合层，且所述若干层复合层沿垂直于吸附板表面方向重叠，所述吸附板与所述挡板可拆卸连接，且所述吸附板的复合层面朝向所述载台的承载面。所述真空预清洁装置的性能得到改善。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附板 腔壁 预清洁装置 挡板 可拆卸连接 承载面 复合层 电源连接结构 表面方向 复合层面 基板表面 台边缘 基板 载台 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种真空预清洁装置，其特征在于，包括：/n腔壁，与所述腔壁连接的电源连接结构；/n载台，所述载台具有承载面，所述载台与所述腔壁固定连接；/n位于所述载台边缘和所述腔壁之间的挡板，所述挡板分别与所述腔壁和所述载台可拆卸连接；/n吸附板，所述吸附板包括基板和位于基板表面的若干层复合层，且所述若干层复合层沿垂直于吸附板表面方向重叠，所述吸附板与所述挡板可拆卸连接，且所述吸附板的复合层面朝向所述载台的承载面。/n
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