[发明专利]一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器有效
| 申请号： | 201910756020.4 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110470862B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 井后升 | 申请（专利权）人： | 扬州华测光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P1/02 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 赵芳蕾 |
| 地址： | 225100 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及加速度传感器技术领域，且公开了一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器，包括上盒体和下盒体，上盒体靠近盒口一端位置的外盒壁上固定连接有上包边，下盒体靠近盒口一端位置的外盒壁上固定连接有下包边，上包边和下包边通过四个均匀分布的卡位机构相连接，且上包边和下包边相抵；卡位机构包括卡位柱、卡位孔、卡位槽、弹簧和卡位块，卡位柱固定连接在下包边的上端，卡位孔开设在上包边上。该用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器，能够解决目前传感器整体通过卡合方式进行连接，连接的十分紧固，在野外测量当传感器损坏需要维护时，在缺乏工具的情况下难以将其拆开的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 微电子 机械 重力加速度 电容 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器，包括上盒体(1)和下盒体(2)，其特征在于：所述上盒体(1)靠近盒口一端位置的外盒壁上固定连接有上包边(3)，所述下盒体(2)靠近盒口一端位置的外盒壁上固定连接有下包边(4)，所述上包边(3)和下包边(4)通过四个均匀分布的卡位机构(5)相连接，且所述上包边(3)和下包边(4)相抵；/n所述卡位机构(5)包括卡位柱(51)、卡位孔(52)、卡位槽(53)、弹簧(54)和卡位块(55)，所述卡位柱(51)固定连接在下包边(4)的上端，所述卡位孔(52)开设在上包边(3)上，所述卡位柱(51)远离下包边(4)的一端穿过卡位孔(52)并向上包边(3)外延伸，所述卡位槽(53)开设在卡位柱(51)的柱壁上，所述弹簧(54)的一端固定连接在卡位槽(53)的槽底，所述弹簧(54)的另一端与卡位块(55)的一端相连接，所述卡位块(55)滑动连接在卡位槽(53)中，所述卡位块(55)远离弹簧(54)的一端穿过卡位槽(53)的槽口并向外延伸，所述卡位块(55)远离弹簧(54)一端的上端设置为斜面，位于所述卡位槽(53)外卡位块(55)的下端与上包边(3)远离下包边(4)的一端相抵。/n
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