[发明专利]一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器

权利要求书

1.一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器，包括上盒体(1)和下盒体(2)，其特征在于：所述上盒体(1)靠近盒口一端位置的外盒壁上固定连接有上包边(3)，所述下盒体(2)靠近盒口一端位置的外盒壁上固定连接有下包边(4)，所述上包边(3)和下包边(4)通过四个均匀分布的卡位机构(5)相连接，且所述上包边(3)和下包边(4)相抵；

所述卡位机构(5)包括卡位柱(51)、卡位孔(52)、卡位槽(53)、弹簧(54)和卡位块(55)，所述卡位柱(51)固定连接在下包边(4)的上端，所述卡位孔(52)开设在上包边(3)上，所述卡位柱(51)远离下包边(4)的一端穿过卡位孔(52)并向上包边(3)外延伸，所述卡位槽(53)开设在卡位柱(51)的柱壁上，所述弹簧(54)的一端固定连接在卡位槽(53)的槽底，所述弹簧(54)的另一端与卡位块(55)的一端相连接，所述卡位块(55)滑动连接在卡位槽(53)中，所述卡位块(55)远离弹簧(54)的一端穿过卡位槽(53)的槽口并向外延伸，所述卡位块(55)远离弹簧(54)一端的上端设置为斜面，位于所述卡位槽(53)外卡位块(55)的下端与上包边(3)远离下包边(4)的一端相抵；所述卡位块(55)靠近弹簧(54)一端位置的侧壁上对称固定连接有滑块(7)，所述卡位槽(53)的槽壁上对应两个滑块(7)的位置开设有两条滑槽(8)，所述滑块(7)远离卡位块(55)的一端穿过滑槽(8)的槽口并向滑槽(8)内延伸，所述滑块(7)滑动连接在对应的滑槽(8)中；所述卡位块(55)靠近卡位槽(53)槽底的一端固定连接有伸缩杆(9)，所述伸缩杆(9)的另一端固定连接在卡位槽(53)的槽底，所述弹簧(54)套设在伸缩杆(9)上；所述卡位柱(51)的柱壁上呈环形均匀等距的开设有若干个滚动槽(10)，所述滚动槽(10)内设有滚动的滚珠(11)，所述滚珠(11)远离滚动槽(10)槽底的一端穿过滚动槽(10)的槽口设置，且所述滚珠(11)滚动连接在卡位孔(52)的孔壁上；所述滑槽(8)沿水平直线方向固定连接有滑杆(12)，所述滑杆(12)贯穿滑块(7)设置，且所述滑块(7)滑动连接在滑杆(12)上；所述滑槽(8)远离上盒体(1)一端的槽壁上固定连接有环形软垫(13)，所述滑杆(12)穿过环形软垫(13)设置。

2.根据权利要求1所述的一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器，其特征在于：所述上包边(3)与下包边(4)之间设有密封机构(6)，所述密封机构(6)设置在四个卡位机构(5)之间，所述密封机构(6)包括矩形的止水槽(61)、矩形的止水框(62)、矩形的密封槽(63)和矩形的密封条(64)，所述止水槽(61)开设在上包边(3)靠近下包边(4)的一端，所述止水框(62)固定连接在下包边(4)靠近上包边(3)的一端，所述止水框(62)穿过止水槽(61)的槽口并向止水槽(61)内延伸，所述止水框(62)与止水槽(61)相匹配，所述密封槽(63)开设在止水框(62)远离下包边(4)的一端，所述密封条(64)固定连接在密封槽(63)的槽底，所述密封条(64)的另一端穿过密封槽(63)的槽口并向外延伸且与止水槽(61)的槽底相抵。