[发明专利]高钪含量铝钪合金靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201910728801.2 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN111455327B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 刘华;黄美松;樊玉川;王志坚;贾帅广;傅臻;姚茂海;杨露辉 | 申请（专利权）人： | 湖南稀土金属材料研究院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/02;B22F3/10;B22F3/17;B22F3/18;B22F3/24;C22C21/00;C22C28/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 曹素云;陈英俊 |
| 地址： | 410126 湖南省长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高钪含量铝钪合金靶材及其制备方法。其中方法包括：选取金属铝和金属钪，并配料；将金属钪熔化，然后将金属铝分多次逐步加入到金属钪中熔炼，多次熔炼后冷却得到铝钪合金；将所述铝钪合金进行球磨，真空干燥得到合金粉，然后经预压制和真空烧结得到铝钪合金靶坯；将得到的铝钪合金靶坯进行热变形加工，得到铝钪合金靶材，所述热变形加工包括热锻、热轧、以及精加工。采用本发明使得铝钪合金靶材组织和化学成分更均匀，相对密度更高，达到99.0％以上，晶粒尺寸更细小，延展性更高；采用本发明还减少了缩孔、疏松缺陷；节省了原料成本；解决了合金脆性大，不能加工靶材的难题；可满足大规模集成电路用配线材料的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 含量 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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