[发明专利]高钪含量铝钪合金靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种高钪含量铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，包括：

选取纯度99.99%以上的金属铝和纯度99.9%以上的金属钪，并按金属钪的质量百分比含量为35%～80%，金属铝的质量百分比含量为20%～65%进行配料；将金属钪熔化，然后将金属铝分多次逐步加入到金属钪中熔炼，多次熔炼并冷却，得到铝钪合金；其中，每加一次金属铝后进行熔炼、保温并冷却，然后再加金属铝；所述熔炼过程是在真空或者惰性气体保护下进行；

将所述铝钪合金球磨0.5～4h，真空干燥得到粒径小于300μm的合金粉，将所述合金粉与润滑剂在混料机中搅拌，再使用液压机在35kN下保压5min，得到铝钪合金生坯；将所述铝钪合金生坯在800～1100℃下，真空或惰性气氛中烧结60～300min，得到铝钪合金靶坯；

将烧结得到的铝钪合金靶坯进行热变形加工，得到铝钪合金靶材，所述热变形加工包括热锻、热轧、以及精加工；其中，热锻步骤中，将烧结得到的铝钪合金靶坯在650℃～800℃下保温30～45min后进行锻造；变形量不超过30%；热轧步骤中，将锻造后的靶坯在450℃～600℃下进行热轧加工，多道次轧制后退火，接着将靶材趁热整平，其中，每道次变形量2%～12%。

2.根据权利要求1所述的高钪含量铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，所述精加工步骤中，对整平后的靶坯精加工，得到铝钪合金靶材，其中，所述铝钪合金靶材的厚度为5～20mm。

3.根据权利要求2所述的高钪含量铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，所述铝钪合金靶材的厚度为10～16mm。

4.一种高钪含量铝钪合金靶材，其特征在于，所述铝钪合金靶材根据权利要求1～3任一项所述的高钪含量铝钪合金靶材的制备方法制备得到。