[发明专利]一种光刻胶组合物

摘要

本发明公开了一种光刻胶组合物，包括：有机胺有机硅双重改性酚醛树脂10‑20份，丙烯酸酯改性环氧树脂5‑10份，甲基丙烯酸共聚树脂5‑10份，抗收缩剂3‑5份，三(2,3‑二溴丙基)异氰酸酯0.5‑1.0份，光活性剂2‑5份，附着力促进剂0.3‑0.8份，有机硅流平剂0.2‑0.6份，添加剂0.1‑0.3份和溶剂15‑25份；其中，所述抗收缩剂为具有核壳结构的改性纳米二氧化钛。本发明提供的光刻胶，选择改性酚醛树脂和丙烯酸酯改性环氧树脂搭配碱溶性树脂作为成膜物质，协同具有核壳结构的改性纳米二氧化钛，使得光刻胶兼具粘附性好、灵敏度高、分辨率好以及抗蚀性能优异等多重优点，具有较高的实用价值。

主权项

1.一种光刻胶组合物，其特征在于，包括如下质量份数的原料组分：有机胺有机硅双重改性酚醛树脂10‑20份，丙烯酸酯改性环氧树脂5‑10份，甲基丙烯酸共聚树脂5‑10份，抗收缩剂3‑5份，三(2,3‑二溴丙基)异氰酸酯0.5‑1.0份，光活性剂2‑5份，附着力促进剂0.3‑0.8份，有机硅流平剂0.2‑0.6份，添加剂0.1‑0.3份和溶剂15‑25份；其中，所述抗收缩剂为具有核壳结构的改性纳米二氧化钛。