[发明专利]一种金属靶材的制备系统

摘要

本发明公开了一种金属靶材的制备系统，包括：中控台、冷水机组、真空室以及设置在真空室内的工作台、旋转机构、背管、移动机构、送料器和电子枪；工作台两端设置有旋转机构，旋转机构用于安装并固定背管的端部，中控台控制旋转机构带动背管沿圆周方向旋转；移动机构安装在背管的上方或一侧，且沿背管轴向方向来回移动，移动机构上设置有送料器和电子枪，中控台控制移动机构的运动；中控台控制电子枪发射电子束，电子束朝向背管表面；中控台控制送料器给背管表面进行送料；冷水机组通过连接管与背管连通；中控台利用冷水机组向背管内提供循环冷却水。本发明通过上述系统能够制备高纯度、高密度及晶粒均匀的金属靶材。

主权项

1.一种金属靶材的制备系统，其特征在于，所述制备系统包括：中控台(1)、冷水机组(2)、真空室(3)以及设置在所述真空室(3)内的工作台(4)、旋转机构(5)、背管(6)、移动机构(7)、送料器(8)和电子枪(9)；所述工作台(4)两端设置有所述旋转机构(5)，所述旋转机构(5)用于安装并固定所述背管(6)的端部，所述中控台(1)和所述旋转机构(5)电连接，所述中控台(1)控制所述旋转机构(5)带动所述背管(6)沿圆周方向旋转；所述移动机构(7)安装在所述背管(6)的上方或一侧，且沿所述背管(6)轴向方向来回移动，所述移动机构(7)上设置有送料器(8)和电子枪(9)，所述中控台(1)控制所述移动机构(7)的运动；所述中控台(1)控制电子枪(9)发射电子束(10)，所述电子束(10)朝向所述背管(6)表面；所述中控台(1)控制所述送料器(8)给所述背管(6)表面进行送料；所述冷水机组(2)通过连接管与所述背管(6)连通；所述中控台(1)和所述冷水机组(2)电连接，所述中控台(1)利用所述冷水机组(2)向所述背管(6)内提供循环冷却水。