[发明专利]一种金属靶材的制备系统

权利要求书

1.一种金属靶材的制备系统，其特征在于，所述制备系统包括：中控台(1)、冷水机组(2)、真空室(3)以及设置在所述真空室(3)内的工作台(4)、旋转机构(5)、背管(6)、移动机构(7)、送料器(8)和电子枪(9)；

所述工作台(4)两端设置有所述旋转机构(5)，所述旋转机构(5)用于安装并固定所述背管(6)的端部，所述中控台(1)和所述旋转机构(5)电连接，所述中控台(1)控制所述旋转机构(5)带动所述背管(6)沿圆周方向旋转；

所述移动机构(7)安装在所述背管(6)的上方或一侧，且沿所述背管(6)轴向方向来回移动，所述移动机构(7)上设置有送料器(8)和电子枪(9)，所述中控台(1)控制所述移动机构(7)的运动；所述中控台(1)控制电子枪(9)发射电子束(10)，所述电子束(10)朝向所述背管(6)表面；所述中控台(1)控制所述送料器(8)给所述背管(6)表面进行送料；

所述冷水机组(2)通过连接管与所述背管(6)连通；所述中控台(1)和所述冷水机组(2)电连接，所述中控台(1)利用所述冷水机组(2)向所述背管(6)内提供循环冷却水。

2.根据权利要求1所述的金属靶材的制备系统，其特征在于，所述旋转机构(5)包括旋转电机、底座和旋转环，所述底座固定安装于所述工作台(4)两端，所述旋转电机固定在所述底座上，所述旋转电机的转动轴和所述旋转环固定连接，所述旋转环用于固定所述背管(6)的端部，所述中控台(1)和所述旋转电机电连接，所述中控台(1)通过所述旋转电机利用所述旋转环控制所述背管(6)的旋转速度。

3.根据权利要求1所述的金属靶材的制备系统，其特征在于，所述冷水机组(2)包括制冷压缩机和水箱，所述制冷压缩机的外壳内设置有水冷夹层通道，所述水冷夹层通道的第一出水管和所述背管(6)一端连通，所述水冷夹层通道的第一进水管和所述水箱的第二出水管连通，所述水箱的第二进水管和所述背管(6)另一端连通。

4.根据权利要求1所述的金属靶材的制备系统，其特征在于，所述第一出水管和所述背管(6)一端通过进水接头连通，所述第二进水管和所述背管(6)另一端通过出水接头连通。

5.根据权利要求1所述的金属靶材的制备系统，其特征在于，所述制备系统还包括真空泵(12)，所述真空泵(12)分别与所述真空室(3)和所述电子枪(9)连通，所述中控台(1)和所述真空泵(12)电连接，所述中控台(1)利用所述真空泵(12)为所述真空室(3)和所述电子枪(9)提供真空环境。

6.根据权利要求1所述的金属靶材的制备系统，其特征在于，所述电子枪(9)和所述背管(6)表面之间设置有间隙。

7.根据权利要求1所述的金属靶材的制备系统，其特征在于，所述移动机构(7)为机械手。

8.根据权利要求1所述的金属靶材的制备系统，其特征在于，所述循环冷却水的温度为28℃-32℃。