[发明专利]触点单元结构及其构成的矩阵探针卡

摘要

本发明公开了一种用于硅片级可靠性测试的触点单元结构，包括：触点伸缩调节结构其底部设置至少一个触点，使触点电性连接或脱离被测试硅片；第一固定件设置在触点伸缩调节结构两侧；第一导电连接件其将触点电性引出；第二导电连接件其设置在第一导电连接件下方，其分别与触点伸缩调节结构两边外侧的第一固定件连接；第三导电连接件其设置在第二导电连接件下方，其将触点单元结构连接地；第二固定件其设置在第二导电连接件两边外侧，其用于将触点单元结构固定在其他外部连接结构上。本发明还公开了一种具有所述触点单元结构的矩阵探针卡。本发明能实现触点压力调整，能满足测试时的不同需求，能减少寄生电感，提高测试可用频率。

主权项

1.一种触点单元结构，用于硅片级可靠性测试，其特征在于，包括：触点伸缩调节结构、触点、第一固定件、第二固定件、第一导电连接件、第二导电连接件和第三导电连接件；触点伸缩调节结构，其底部设置至少一个触点，通过调节其自身的体积使其底部的触点上下移动接触或脱离被测试硅片；触点，其用于电性连接被测试硅片；第一固定件，设置在触点伸缩调节结构两侧；第一导电连接件，其将触点电性引出；第二导电连接件，其设置在第一导电连接件下方，其分别与触点伸缩调节结构两边外侧的第一固定件连接，其能缓冲触点单元结构上下移动所产生的应力；第三导电连接件，其设置在第二导电连接件下方，其将触点单元结构连接地；第二固定件，其设置在第二导电连接件两边外侧，其分别与的第一固定件两边外侧的第二导电连接件连接，其用于将触点单元结构固定在其他外部连接结构上。