[发明专利]触点单元结构及其构成的矩阵探针卡有效
| 申请号： | 201910643613.X | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN110412321B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 武建宏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/04;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦天雷 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 触点 单元 结构 及其 构成 矩阵 探针 | ||
1.一种触点单元结构，用于硅片级可靠性测试，其特征在于，包括：触点伸缩调节结构、触点、第一固定件、第二固定件、第一导电连接件、第二导电连接件和第三导电连接件；
触点伸缩调节结构，其底部设置至少一个触点，通过调节其自身的体积使其底部的触点上下移动接触或脱离被测试硅片；
触点，其用于电性连接被测试硅片；
第一固定件，设置在触点伸缩调节结构两侧；
第一导电连接件，其将触点电性引出；
第二导电连接件，其设置在第一导电连接件下方，其分别与触点伸缩调节结构两边外侧的第一固定件连接，其能缓冲触点单元结构上下移动所产生的应力；
第三导电连接件，其设置在第二导电连接件下方，其将触点单元结构连接地；
第二固定件，其设置在第二导电连接件两边外侧，其分别与的第一固定件两边外侧的第二导电连接件连接，其用于将触点单元结构固定在其他外部连接结构上。
2.如权利要求1所述的触点单元结构，其特征在于：所述触点伸缩调节结构是调节气囊。
3.如权利要求1所述的触点单元结构，其特征在于：所述触点是接触金属凸点。
4.如权利要求1所述的触点单元结构，其特征在于：所述第一固定件是倒置的L形支架，该L形支架的长边与触点伸缩调节结构相连接，该L形支架的短边与第二导电连接件相连接。
5.如权利要求1所述的触点单元结构，其特征在于：所述第二固定件是固定块。
6.如权利要求1所述的触点单元结构，其特征在于：所述第一导电连接件是金属导线或键合线。
7.如权利要求1所述的触点单元结构，其特征在于：所述第二导电连接件是柔性结构。
8.如权利要求7所述的触点单元结构，其特征在于：所述第二导电连接件是导电薄膜。
9.如权利要求1所述的触点单元结构，其特征在于：所述第三导电连接件是金属接地板。
10.一种具有权利要求1-9任意一项所述触点单元结构的矩阵探针卡，其特征在于：
各所述触点单元结构彼此之间通过PCB连接固定，各所述触点单元结构在所述PCB上形成触点矩阵，所述PCB上设有电性引出接口和测试配置端口。
11.如权利要求10的矩阵探针卡，其特征在于：触点伸缩调节结构施加到每个触点的压力为3克-5克。
12.如权利要求10的矩阵探针卡，其特征在于：各所述触点单元结构通过固定在PCB上的第二固定件实现固定连接。
13.如权利要求10的矩阵探针卡，其特征在于：所述PCB的电性引出接口用于连接测试仪。
14.如权利要求10的矩阵探针卡，其特征在于：所述测试配置端口是用于配置测试的跳线柱。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910643613.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便于安装的机房电能监测设备
- 下一篇：一种厂站电能计量二次电压切换装置
